는(대표이사 김현철)는 효과적인 히터 삽입 및 알루미늄 고진공 브레이징이 이루어 질 수 있는 형상 기술에 관한 특허를 취득했다고 30일 밝혔다.

이 특허는 에칭 챔버에서 플라즈마를 가두기 위한 환형 배플(baffle) 제조방법에 관한 것이다.

이번 특허는 반도체 및 LCD 장비 부품은 온도를 균일하게 유지시키기 위하여 히터가 삽입되는 제품에 적용될 수 있으며 널리 상용화 되지 않은 진보된 집합 방법인 알루미늄 고진공 브레이징(brazing) 기술 확보로 인해 기존 대비 우수한 품질의 제품을 개발할 수 있게 됐다는 것이 회사 측 설명이다.

회사 측은 "이번 특허 기술로 전량 수입에 의존하던 제품을 국산화하는데 성공하게 됐다"고 강조했다. 위지트는 노광기 척, 300mm 히터 등의 국산화에도 성공한 바 있다.

한경닷컴 최성남 기자 [email protected]